以下のドライリン リニアガイドを試験しました: N40、W10、T25、T30。
ドライリンリニアガイ NK-02-40-02
イグスのドライリンリニアガイドシステム NK-02-40-02 は、各検出レベル (0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm、 5 μm ) で限界値を超える確率の計算によって (速度v = 1 m/s)、クリーンルームへの高い適合性ISOクラス 6 (DIN EN ISO 14644-1 準拠) を示します。
ESD適合性の測定結果 (SEMI E78-0998準拠) は、ドライリンリニアガイドシステム NK-02-40- 02 が「レベル1」最高ランクに等級付けされることを示します。フラウンホーファー協会IPA (機器性能評価保証機構) の報告書No.: IG 0308- 295 73
ドライリン リニアガイドTK-01-30-01
イグスのドライリンリニアガイドシステム TK-10-30-01 は、各検出レベル (0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm、 5 μm ) で限界値を超える確率の計算によって (速度v = 0.1 m/s)、クリーンルームへの高い適合性ISOクラス 3 (DIN EN ISO 14644-1 準拠) を示します。
ドライリン リニアガイドTK-01-25-02
イグスのドライリンリニアガイドシステム TK-01-25-02 は、各検出レベル (0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm、 5 μm ) で限界値を超える確率の計算によって (速度v = 1 m/s)、クリーンルームへの高い適合性ISOクラス 5 (DIN EN ISO 14644-1 準拠) を示します。"
ESD適合性の測定結果 (SEMI E78-0998準拠) は、リニアガイド ドライリン TK-01-25-02 が「レベル1」最高ランクに等級付けされることを示します。
リニアガイド ドライリンWK-10-40-15-01
イグスのドライリンリニアガイドシステム WK-10-40-15-01 は、各検出レベル (0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm、 5 μm) で限界値を超える確率の計算によって (速度v = 1 m/s) 、クリーンルームへの高い適合性ISOクラス 6 (DIN EN ISO 14644-1 準拠) を示します。
ESD適合性の測定結果 (SEMI E78-0998準拠) は、ドライリンリニアガイドシステム WK-10-40-15-01 が「レベル1」最高ランクに等級付けされることを示します。フラウンホーファー協会IPA (機器性能評価保証機構) の報告書No.: IG 0308-295 74
